1320 上下其手
三桑生产的光刻机技术水平,在这个梯队里只能算吊车尾,就不多提了。
要提的还是尼康和佳能的技术。
其实光刻机最早是诞生在米国的,当时米国还有业界大名鼎鼎的svg、ultratech的光刻机生产制造企业。
但是在上世纪八十年代,这些企业,就被日本的尼康和佳能给打的落花流水。
到了九十年代初期,日本的尼康和佳能,更是光刻机领域的绝对老大。
那时候的asl还只不过是一家只有三十一个员工的小舢板。
而asl真正的崛起,还要说在上世纪的九十年代。
当光刻制程的技术,从193纳米像15突破的时候。
当时尼康选择了保守路线,打算采用f2激光作为光源,可这种做法费时费力,成本还高。
而那时候湾湾的林本坚就研发出了一套沉浸式光刻发,使用极紫外光作为光源的工艺。
可当时他像日本人推销自己这套技术的时候,被高傲的日本人一口回绝了。
于是憋着一口气的林本坚就跑去了荷兰找到了asl就决定赌这一票。
没想到他们使用林本坚的技术,还真就比日本人更早突破了153n;而这一次成功
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