还要考虑散热。
    光照在水上会加热水，这种事平时不算什么，但光刻机是极为精密的设备。
    给水散热最好的方法就是让水流动起来，但是水一流动，就又可能会形成气泡，所以出水口的形状、位置都得经过严格计算。
    光是为了给他们做纯水泵和单向阀，就差点难死东升重工！
    此外还要考虑到底是把整个工
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    99mk.。
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